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描述

Metricon Model 2010棱鏡耦合儀使用先進(jìn)的光波導(dǎo)技術(shù)對(duì)電介質(zhì)及聚合物膜的膜厚和折射率/雙折射進(jìn)行快速及準(zhǔn)確 的測(cè)量。對(duì)于許多薄膜及光波導(dǎo)用途，Model 2010提供了比以橢圓光度法或分光光度法為基礎(chǔ)的傳統(tǒng)儀器更獨(dú)特的技術(shù)。

優(yōu)勢(shì)

Model 2010數(shù)據(jù)分析軟件是完全通用的，兼容Windows XP / Vista / Windows 7,極大地提高了用戶(hù)友好的控制程序, 和新測(cè)量的功能，允許測(cè)量從常見(jiàn)到特殊的薄膜而不需依靠?jī)?nèi)部系數(shù)或菜單式校準(zhǔn)曲線。

不必預(yù)先知曉厚度及折射率

±.0005常規(guī)折射率分辨率-尤其在大批量生產(chǎn)時(shí)比其他技術(shù)更具優(yōu)勢(shì)（可獲得更高折射率） 完全通用化-沒(méi)有固定的薄膜/基底合并菜單

可測(cè)量雙膜結(jié)構(gòu)中的單膜厚度及折射率

體材料或基底材料的高精度折射率測(cè)量

快速測(cè)量薄膜或漫反射光波導(dǎo)參數(shù)（20秒）

技術(shù)指標(biāo)

折射率精度:±0.001 (甚至更高 0.0001-0.0002)

折射率分辨率: ±0.0003(甚 至高于0.00005)

厚度精度:±(0.5%+50Å) 厚度分辨率:±0.3%

折射率測(cè)量范圍:2.65以下(一些情況可達(dá)3.35以下)

操作波長(zhǎng):632.8nm,1310nm,1550nm以及其他可見(jiàn)光/近紅外光

允許的基底材料:硅、砷化鎵、玻璃、石英、GGG、藍(lán)寶石、鋰酸鈮等

軟件:windows version 操作軟件

輸出:計(jì)算機(jī)顯示和打印機(jī)輸出

特點(diǎn)

中/厚膜膜厚折射率(尤其是光波導(dǎo))的佳的選擇

不需要預(yù)先知道膜的厚度

獨(dú)特的氣壓耦合方式,不需要加耦合液

測(cè)試原理：當(dāng)光入射到棱鏡上,隨著旋轉(zhuǎn)臺(tái)的旋轉(zhuǎn),入射角就隨之發(fā)生了變化,在某一個(gè)入射角度,光子就會(huì)經(jīng)空氣狹縫進(jìn)入薄膜傳 輸出來(lái),因此探測(cè)器得到的光子能量就會(huì)降低,形成凹陷,這叫做泄漏模。第一個(gè)模的位置決定了薄膜的折射率,而模間 隔決定了薄膜的厚度。